Zur Erstellung der Schaltungen auf Halbleiterchips werden die einzelnen funktionalen Schichten großflächig aufgetragen und danach durch Entfernen nicht benötigten Materials strukturiert. Die dafür nötigen Verfahrensschritte werden in diesem Kapitel erklärt.

• Lithografie
• Andere Techniken zur Belichtung
• Der Fotolack
• Entwicklung
• Lackkontrolle
• Lackentfernung
• Maskentechnik

[ Zurück ]