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Halbleitertechnologie
| Wirkung des Aluminiums als Dotierstoff |
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Bei der Kontaktierung mit Aluminium ist zu beachten, dass dieses Material in Silizium den Effekt einer p-Dotierung bewirkt. Bei Prozessen erhöhter Temperatur bei denen Aluminium in das Substratmaterial vordringt, wird der Bereich der Grenzfläche daher stark p-dotiert. Bei der Kombination von Aluminium mit p-Silizium stellt die resultierende Erhöhung der Dotierstoffkonzentration kein Problem dar. Im Gegensatz dazu ergibt sich bei der Kontaktierung auf n-Silizium ein p-n-Übergang an der Grenzfläche, der eine Diodencharakteristik aufweist (siehe link Der p-n-Übergang, die Diode).
Mit folgenden Maßnamen lassen sich in diesem Fall dennoch Ohmsche-Kontakte erzeugen:
Die Leitungseigenschaften lassen sich außerdem durch Zwischenschichten aus Metallsiliziden (Bindungen von Silizium mit Metallen, Beispielsweise Titan oder Kobalt) verbessern.
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