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Gliederung Halbleitertechnologie

Einleitung

Die Grundlagen der Halbleitertechnologie

Aufbau der Materie


Elektrische Leitfähigkeit im Festkörper



Anwendung von Halbleitern


Das Grundsubstrat - der Wafer


Dotierung


Oxidation


Abscheidung


Metallisierung


Strukturierung


Ätztechnik







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