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Anreicherung BBr3 Borbromid Diffusion Flüssigkeit Halbleiter POCl3 Phosphorylchlorid Quelle Trägergas flüssiger geblasen

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Diffusion aus flüssiger Quelle

Hier wird das Trägergas zur Anreicherung durch eine Flüssigkeit wie Borbromid (BBr3) oder Phosphorylchlorid (POCl3) geblasen.