In der 4. Hauptgruppe des Periodensystems finden sich die sogenannten Elementhalbleiter (Si, Ge, …), die sich alleine zu einem Festkörper binden können. Ein Verbundhalbleiter dagegen wird durch Kombination von Elementen aus der III. und V. bzw der II. und VI. Hauptgruppe gebildet (z.B. GaAs, GaN).

Zur Dotierung eines Halbleiters (Beeinflussung der Leitungseigenschaft) werden häufig Phosphor, Aluminium, Arsen und Bor verwendet.

In Produktionschritten kommen außerdem z.B. Fluor zum Ätzen und Sauerstoff zur Bildung von isolierendem Silizium-Oxid zum Einsatz.

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