Fraunhofer IPMS

Halbleiter Hersteller

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Consultancy

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Wafer Hersteller

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Informationen

Das Fraunhofer IPMS bietet seinen Kunden kompletten Service von Machbarkeitsuntersuchungen über Entwicklungen von Technologiemodulen, der Charakterisierung der Prozesse und Technologien bis zu vollständigen technologischen Herstellungsprozessen für Mikrosysteme (MEMS, MOEMS) an. Dabei verfolgt das Fraunhofer IPMS stets das Ziel, serientaugliche Prozesse zu entwickeln.

Das Fraunhofer IPMS verfügt über umfangreiche Kompetenzen für die Entwicklung von Mikrosystem-Technologien für Oberflächen- und Bulkmikromechanik. Die Kombination dieser Technologien mit dem CMOS-Prozess des Fraunhofer IPMS wird für die Entwicklung von monolithisch integrierten Systemen genutzt, bei denen Sensoren oder Aktoren gemeinsam mit der Ansteuerelektronik in einem Waferprozess hergestellt werden.

Für die Entwicklung von Technologien und für die Pilotfertigung stehen modernste Anlagen und der neue Reinraum des Fraunhofer IPMS zur Verfügung.

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Only very few MEMS foundries can go all the way from concept design to marketable products. In the field of Micro-Electro-(Opto)-Mechanical Systems (MEMS & MOEMS) the Fraunhofer Institute for Photonic Microsysstems provides foundry services for individual steps in the process or for technology modules but at the same time also covers the whole value chain from technology and product development to pilot-fabrication.

Our services comprise feasibility studies, simulations of critical parameters and process flows, design, single process development and prototyping to mid size volume production. These include complete electrical and nonelectrical tests and reliability examinations as well as the
characterization of microsystems. Beside our know-how in the field of micro scanning mirrors and spatial light modulators we provide broad expertise in manufacturing of standard MEMS such as pressure sensors, photo diodes, ion sensitive
field effect transistors and back end for IR thermopiles.